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    消息稱三星電子測(cè)試TEL公司Acrevia GCB設(shè)備以改進(jìn)EUV光刻工藝

    2024年09月03日 14:25:54   來源：IT之家

    　　據(jù)韓媒 The Elec 昨日?qǐng)?bào)道，三星正對(duì) Tokyo Electron (TEL) 的 Acrevia GCB 氣體團(tuán)簇光束(IT之家注：Gas Cluster Beam)系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試。

    　　TEL 的 Acrevia GCB 系統(tǒng)發(fā)布于今年 7 月 8 日，可通過氣體團(tuán)簇光束對(duì) EUV 光刻圖案進(jìn)行局部精確整形，從而修復(fù)圖案缺陷、降低圖案粗糙度。

    　　業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為 TEL 的 Acrevia 系統(tǒng)可起到與應(yīng)用材料 Centura Sculpta 系統(tǒng)類似的作用，即直接對(duì) EUV 曝光圖案塑形，減少成本高昂的 EUV 多重曝光，進(jìn)而縮短光刻流程并提升整體利潤率。

    　　此外 Acrevia 系統(tǒng)還可用于消除在 EUV 光刻錯(cuò)誤中占約一半的隨機(jī)錯(cuò)誤，提升產(chǎn)品良率。

    　　TEL 相關(guān)人士表示潛在客戶確實(shí)正在進(jìn)行 Acrevia 系統(tǒng)測(cè)試，該設(shè)備預(yù)計(jì)將首先用于邏輯代工而非存儲(chǔ)器領(lǐng)域。

    　　此前三星電子已在 4nm 工藝上對(duì)應(yīng)用材料的 Centura Sculpta 進(jìn)行了測(cè)試，如今又測(cè)試 TEL 的設(shè)備，旨在加強(qiáng)兩大半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商間的圖案塑形訂單競(jìng)爭。

    　　文章內(nèi)容僅供閱讀，不構(gòu)成投資建議，請(qǐng)謹(jǐn)慎對(duì)待。投資者據(jù)此操作，風(fēng)險(xiǎn)自擔(dān)。

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    TCL實(shí)業(yè)榮獲IFA2024多項(xiàng)大獎(jiǎng)，展示全球科技創(chuàng)新力量

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    敢闖技術(shù)無人區(qū) TCL實(shí)業(yè)斬獲多項(xiàng)AWE 2024艾普蘭獎(jiǎng)

    近日，中國家電及消費(fèi)電子博覽會(huì)(AWE 2024)隆重開幕。全球領(lǐng)先的智能終端企業(yè)TCL實(shí)業(yè)攜多款創(chuàng)新技術(shù)和新品亮相，以敢為精神勇闖技術(shù)無人區(qū)，斬獲四項(xiàng)AWE 2024艾普蘭大獎(jiǎng)。

    企業(yè)IT

    重慶創(chuàng)新公積金應(yīng)用，“區(qū)塊鏈+政務(wù)服務(wù)”顯成效

    “以前都要去窗口辦，一套流程下來都要半個(gè)月了，現(xiàn)在方便多了!”打開“重慶公積金”微信小程序，按照提示流程提交相關(guān)材料，僅幾秒鐘，重慶市民曾某的賬戶就打進(jìn)了21600元。

    研究

    2024全球開發(fā)者先鋒大會(huì)即將開幕

    由世界人工智能大會(huì)組委會(huì)、上海市經(jīng)信委、徐匯區(qū)政府、臨港新片區(qū)管委會(huì)共同指導(dǎo)，由上海市人工智能行業(yè)協(xié)會(huì)聯(lián)合上海人工智能實(shí)驗(yàn)室、上海臨港經(jīng)濟(jì)發(fā)展(集團(tuán))有限公司、開放原子開源基金會(huì)主辦的“2024全球開發(fā)者先鋒大會(huì)”，將于2024年3月23日至24日舉辦。