西人馬產(chǎn)品總監(jiān)謝巍博士：MEMS壓力傳感器在民用航空領(lǐng)域中的應(yīng)用

　　9月24日，中國(guó)(上海)國(guó)際傳感器與應(yīng)用技術(shù)展覽會(huì)進(jìn)行到第二天，西人馬除了發(fā)布塔斯云平臺(tái)等新品之外，還帶來了多款重點(diǎn)產(chǎn)品。

　　MEMS壓力傳感器產(chǎn)品是西人馬的明星產(chǎn)品，為了滿足市場(chǎng)對(duì)不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求，西人馬一直在擴(kuò)充自己的MEMS壓力傳感器產(chǎn)品矩陣。

　　中高溫傳感器一直是MEMS壓力傳感器中難度較大的一個(gè)領(lǐng)域，迫于技術(shù)壓力，國(guó)內(nèi)很少有企業(yè)成功研發(fā)并生產(chǎn)出中高溫壓力傳感器，民用航空領(lǐng)域一直使用國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品，價(jià)格較為昂貴。西人馬是由民用航空傳感器產(chǎn)品起家，擁有滑油傳感器、加速度傳感器等先進(jìn)的航空傳感器產(chǎn)品。在看到國(guó)內(nèi)中高溫壓力傳感器的空白之后，西人馬決心用自主創(chuàng)新技術(shù)攻克行業(yè)難題，給民用航空領(lǐng)域的客戶更多選擇性。目前，西人馬已研發(fā)生產(chǎn)出從常溫到高溫的一系列MEMS壓力傳感器，能夠廣泛應(yīng)用于民用航空領(lǐng)域。

　　9月24日下午的第五屆壓力傳感器創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)論壇現(xiàn)場(chǎng)，西人馬公司產(chǎn)品總監(jiān)謝巍先生進(jìn)行了“MEMS壓力傳感器產(chǎn)品及其在航空測(cè)試中的應(yīng)用”的主旨演講，深入講解了西人馬產(chǎn)品在民用航空領(lǐng)域中的應(yīng)用與優(yōu)勢(shì)。

　　▲西人馬公司產(chǎn)品總監(jiān)謝巍先生在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行講解

　　西人馬民用航空領(lǐng)域的MEMS壓力系列產(chǎn)品主要是壓阻式壓力芯片及傳感器，包括高溫壓力芯片、常溫動(dòng)態(tài)壓力傳感器、高精度壓力傳感器、超薄動(dòng)態(tài)壓力傳感器和高溫動(dòng)態(tài)壓力傳感器。

　　作為知名的芯片IDM公司，西人馬芯片采用全自主設(shè)計(jì)，不需要依靠傳統(tǒng)EDA軟件設(shè)計(jì)庫(kù)，具備從深亞微米制程中進(jìn)行大規(guī)模數(shù)�；旌蟂oC集成電路的自主開發(fā)及設(shè)計(jì)能力以及基于MEMS傳感器芯片工藝開發(fā)能力。并且，西人馬在2018年取得了AS9100D航空航天質(zhì)量管理體系認(rèn)證，近日，經(jīng)過世界知名認(rèn)證機(jī)構(gòu)DNV審核組為期5天的現(xiàn)場(chǎng)審核，西人馬通過2020年AS9100D航空航天質(zhì)量管理體系年度審核。西人馬在質(zhì)量管控方面追求品質(zhì)零缺陷，致力在提升客戶滿意度的同時(shí)打造綠色環(huán)保的生產(chǎn)制造環(huán)境。

　　CD0304/CD0305系列中高溫壓力芯片

　　西人馬CD0304/CD0305系列芯片能夠在-40℃~260℃的環(huán)境中使用，分別適用于15psi量程的絕壓測(cè)量和50psi量程的絕壓測(cè)量，綜合精度-0.5% FSO ~ +0.5% FSO，能夠應(yīng)用于無腐蝕性、非離子的工作流體，如清潔干燥的空氣、干燥的氣體等。

　　芯片采用獨(dú)有的阻條及金屬焊盤設(shè)計(jì)技術(shù)，制備出能承受高溫、電連接可靠且溫飄性能優(yōu)良的橋臂電阻和金屬焊盤。自主開發(fā)多層SOI晶圓制備工藝，基于此工藝的中溫壓力芯片尺寸更小、性能一致性更好。

　　▲西人馬中高溫壓力芯片CD0304正面圖

　　▲西人馬中高溫壓力芯片CD0304剖面圖

　　TYZV02系列動(dòng)態(tài)壓阻式壓力傳感器

　　TYZV02設(shè)計(jì)用于測(cè)量靜態(tài)或動(dòng)態(tài)壓力。它的小直徑適合于測(cè)量飛機(jī)表面壓力、渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣畸變壓力或汽車變速器壓力的嵌入式安裝。傳感器的高頻響應(yīng)允許在風(fēng)洞中的小規(guī)模模型上使用。

　　▲西人馬TYZV02系列動(dòng)態(tài)壓阻式壓力傳感器

　　TYZV02系列傳感器特點(diǎn)：

　　★ 工作溫度：125℃

　　★ 直徑：3.8mm

　　★ 精度：0.5 ±% FS

　　★ 工作壓力：25psi

　　★ 爆裂壓力：75psi

　　★ 靈敏度：12±5 mV/psi

　　★ 熱靈敏度漂移：±1/40℃ % typ

　　▲西人馬TYZV02系列動(dòng)態(tài)壓阻式壓力傳感器在民用航空領(lǐng)域中的應(yīng)用

　　TYZV03系列高精度壓阻式壓力傳感器

　　TYZV03是一款板載式差壓壓力傳感器，采用TO-8封裝結(jié)構(gòu)，具有極高的準(zhǔn)確度以及優(yōu)良的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，能夠應(yīng)用在氣流監(jiān)測(cè)等場(chǎng)景。

　　▲西人馬TYZV03系列高精度壓阻式壓力傳感器

　　TYZV03系列傳感器特點(diǎn)：

　　★ 準(zhǔn)確度：0.05%

　　★ 穩(wěn)定性：長(zhǎng)期

　　TYZV06系列超薄動(dòng)態(tài)壓阻式壓力傳感器

　　TYZV06是一種極薄型壓力傳感器，由于其尺寸非常小，其可安裝在彎曲的表面上，對(duì)層流和熱空氣的影響很小。因此，它可以集成到各種試驗(yàn)中，如風(fēng)機(jī)葉片、各種類型的發(fā)動(dòng)機(jī)噴嘴等。

　　▲西人馬TYZV06系列超薄動(dòng)態(tài)壓阻式壓力傳感器

　　TYZV06系列傳感器特點(diǎn)：

　　★ 高諧振頻率：180KHz以上

　　★ 厚度：0.8mm

　　★ 精度：±0.5%FSO Max

　　★ 測(cè)量范圍：50 psi

　　★ 爆裂壓力：150 psi

　　★ 靈敏度：4.0±0.8 mV/psi

　　▲西人馬TYZV06系列傳感器在民用航空領(lǐng)域中的應(yīng)用

　　TYZV09系列高溫動(dòng)態(tài)壓阻式壓力傳感器

　　TYZV09設(shè)計(jì)用于測(cè)量靜態(tài)或動(dòng)態(tài)壓力。它的小直徑適合于測(cè)量飛機(jī)表面壓力、渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣畸變壓力或汽車變速器壓力的嵌入式安裝。傳感器的高頻響應(yīng)允許在風(fēng)洞中的小規(guī)模模型上使用。

　　▲西人馬TYZV09系列高溫動(dòng)態(tài)壓阻式壓力傳感器

　　TYZV09系列傳感器特點(diǎn)：

　　★ 溫度：260℃

　　★ 直徑：3.8mm

　　★ 精度：±0.5%FSO Max

　　★ 測(cè)量范圍：50 psi

　　★ 爆裂壓力：150 psi

　　★ 靈敏度：6±2 mV/psi

　　▲西人馬TYZV09系列傳感器在民用航空領(lǐng)域中的應(yīng)用

　　謝巍先生的講解獲得了觀眾的一致好評(píng)，現(xiàn)場(chǎng)有多位客戶表達(dá)希望能夠與西人馬在民用航天領(lǐng)域展開深入廣泛的合作。

　　▲西人馬公司產(chǎn)品總監(jiān)謝巍先生與現(xiàn)場(chǎng)觀眾互動(dòng)

　　在昨日的展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)，謝巍先生還接受了多家傳感器領(lǐng)域知名媒體的采訪，分享西人馬的技術(shù)優(yōu)勢(shì)及產(chǎn)品布局。

　　▲西人馬公司產(chǎn)品總監(jiān)謝巍先生接受媒體采訪

　　上海國(guó)際傳感器展還將持續(xù)到25日，歡迎各界同仁蒞臨西人馬B045展臺(tái)，進(jìn)一步了解西人馬的先進(jìn)技術(shù)及產(chǎn)品。