半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展勢(shì)頭良好

　　“儀器設(shè)備處于工業(yè)的核心地位，提高儀器設(shè)備水平，充分發(fā)揮其作用，才能促進(jìn)半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，并走向世界前沿。”中國(guó)科學(xué)院院士褚君浩在8月10日舉辦的第11屆(2023年)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇上表示。

　　半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)發(fā)展勢(shì)頭良好

　　半導(dǎo)體設(shè)備是支撐電子行業(yè)發(fā)展的基石。近年來(lái)，國(guó)內(nèi)多家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在關(guān)鍵領(lǐng)域取得了進(jìn)展，材料零部件的龍頭企業(yè)也呈現(xiàn)出快速增長(zhǎng)的趨勢(shì)。

　　中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)、北方華創(chuàng)董事長(zhǎng)趙晉榮表示，10余年來(lái)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)發(fā)展，尤其是近幾年，中國(guó)本土設(shè)備取得了較大進(jìn)步。

　　數(shù)據(jù)來(lái)源：浙商證券研究所

　　根據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)的統(tǒng)計(jì)，2022年，77家規(guī)模以上半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷售收入累計(jì)完成593億元，同比增長(zhǎng)53.6%。其中，前10家設(shè)備制造商完成銷售收入438億元。

　　中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書長(zhǎng)金存忠表示，今年1—6月，主要半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額在減少，國(guó)內(nèi)企業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備訂單在增長(zhǎng)。預(yù)計(jì)2023年，本土的半導(dǎo)體設(shè)備銷售額將增長(zhǎng)38%左右。

　　數(shù)據(jù)來(lái)源：SEMI

　　“為了保障全球產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的暢通與穩(wěn)定，發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備、材料以及零部件至關(guān)重要。”華潤(rùn)微電子有限公司執(zhí)行董事、總裁李虹表示，“中國(guó)在全球半導(dǎo)體市場(chǎng)中占據(jù)重要地位，也是全球最大的設(shè)備市場(chǎng)。在整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈中，目前中國(guó)廠商開始嶄露頭角，發(fā)展勢(shì)頭良好，市場(chǎng)規(guī)模逐年增加。”

　　睿歷科學(xué)儀器(上海)有限公司總經(jīng)理兼首席執(zhí)行官楊峰表示，當(dāng)前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)應(yīng)把握發(fā)展機(jī)遇，首先在成熟工藝領(lǐng)域，新興的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)有機(jī)會(huì)成為主力軍;其次在高階制程領(lǐng)域，只要加快研發(fā)進(jìn)度和技術(shù)迭代，還是有機(jī)會(huì)趕上的。”

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　　半導(dǎo)體設(shè)備廠商仍面臨諸多難題

　　中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，半導(dǎo)體設(shè)備要超前半導(dǎo)體制造3~5年開發(fā)新一代產(chǎn)品，雖然我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)過(guò)不斷地努力，已經(jīng)取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步，但外國(guó)設(shè)備仍占國(guó)內(nèi)設(shè)備采購(gòu)的85%左右。

　　中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)副秘書長(zhǎng)、積塔半導(dǎo)體(上海)有限公司總工程師李晉湘表示，半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)和大生產(chǎn)應(yīng)用是完全不同的，其中良率至關(guān)重要，如果沒(méi)有95%以上的良率，成本就不能降下來(lái)。

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　　李晉湘同時(shí)指出，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商正面臨三個(gè)挑戰(zhàn)：一是缺乏某類設(shè)備，不能形成體系化生產(chǎn)流程;二是設(shè)備齊全，但特殊工藝要求無(wú)法滿足;三是設(shè)備和工藝雖然完善，但關(guān)鍵工藝不穩(wěn)定、不可靠。

　　盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司總經(jīng)理王堅(jiān)也表示，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額的成長(zhǎng)速度飛快，從2008年的17億元，增長(zhǎng)到了2022年的593億元。雖然取得如此大的成績(jī)，但是與全球市場(chǎng)規(guī)模相比還是很小，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商仍面臨很多難題。

　　根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)，2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備的出貨額創(chuàng)下1076億美元的歷史新高，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備投資額為283億美元，連續(xù)3年成為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)。