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    三星研究員悲觀看待EUV光刻技術(shù)壽命 認為High-NA方案面臨成本問題

    2024年03月08日 18:11:27   來源:IT之家

      3 月 8 日消息,三星研究員 Young Seog Kang 在近日舉行的 SPIE 先進光刻 + 圖案化會議的小組討論中對 EUV 技術(shù)的壽命持有悲觀看法,認為 High-NA(高數(shù)值孔徑)路線存在成本問題。

      Kang 表示,作為光刻技術(shù)的用戶方,其總是最關(guān)心整體成本。

      這位研究員指出,芯片制造商可使用目前運行的 0.33NA EUV 光刻機搭配多重圖案化實現(xiàn)精度的進一步提升,而無需更昂貴的替代方案(IT之家注:即 High-NA 光刻機)。

      更重要的是,代工廠正轉(zhuǎn)向先進封裝和其他圖案化方法生產(chǎn)芯片。尤其對于擁有大量重復(fù)單元的存儲半導(dǎo)體,納米壓印等方案正在市場中逐漸占據(jù)一席之地。

      Kang 的表態(tài)是從去年底開始的 High-NA 成本大討論的一部分:

      此前分析機構(gòu) SemiAnalysis 稱對于 1.4nm 節(jié)點而言,High-NA 光刻成本仍高于現(xiàn)有版本 EUV + 多重圖案化的組合;

      ASML 首席財務(wù)官回擊稱 High-NA 光刻是未來最經(jīng)濟選擇,相關(guān)訂單逐步增加。

      而在買方,三星的主要競爭對手英特爾積極采用 High-NA EUV,并已宣布將在 Intel 14A 制程節(jié)點引入;行業(yè)龍頭臺積電對此并未發(fā)表過多信息,有傳聞稱要等到 2030 年后才會使用。

      在 Kang 所在的小組內(nèi)部,各方專家也有各自的意見:

      光刻膠供應(yīng)商 JSR 北美總裁馬克・斯萊扎克(Mark Slezak)表示 EUV 技術(shù)的整體壽命將長達 20 年;

      英特爾掩模業(yè)務(wù)總經(jīng)理弗蘭克・阿布德(Frank Abboud)認為,相移掩模這一在 DUV 光刻中起到重大作用的技術(shù)有望引入 EUV;

      ASML 系統(tǒng)工程總監(jiān)揚・范・舒特(Jan van Schoot)指出,其正在研發(fā)新的光源,并采取其他技術(shù)改善同數(shù)值孔徑一樣重要的 k1 復(fù)合參數(shù);

      Imec 技術(shù)人員艾米麗・加拉格爾(Emily Gallagher)則表示,EUV 的未來命運也可能由技術(shù)之外的因素決定:如生產(chǎn)過程中含氟溫室氣體的排放問題,為環(huán)境考慮使用替代品將引入更大變量。

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