日前清華大學(xué)宣布,集成電路學(xué)院任天令教授團(tuán)隊(duì)在小尺寸晶體管研究方面取得重大突破,首次實(shí)現(xiàn)了具有亞1納米柵極長(zhǎng)度的晶體管,晶體管柵極長(zhǎng)度等效0.34nm。
據(jù)清華大學(xué)介紹,目前主流工業(yè)界晶體管的柵極尺寸在12nm以上,日本中在2012年實(shí)現(xiàn)了等效3nm的平面無結(jié)型硅基晶體管,2016年美國(guó)實(shí)現(xiàn)了物理柵長(zhǎng)為1nm的平面硫化鉬晶體管,而清華大學(xué)目前實(shí)現(xiàn)等效的物理柵長(zhǎng)為0.34nm。
為進(jìn)一步突破1納米以下柵長(zhǎng)晶體管的瓶頸,本研究團(tuán)隊(duì)巧妙利用石墨烯薄膜超薄的單原子層厚度和優(yōu)異的導(dǎo)電性能作為柵極,通過石墨烯側(cè)向電場(chǎng)來控制垂直的MoS2溝道的開關(guān),從而實(shí)現(xiàn)等效的物理柵長(zhǎng)為0.34nm。
目前全球半導(dǎo)體工業(yè)量產(chǎn)的芯片技術(shù)還是7nm、5nm工藝,實(shí)驗(yàn)室中有2nm甚至1nm工藝,那清華大學(xué)開發(fā)的0.34nm晶體管有什么意義呢?
IEEE官網(wǎng)上也介紹了這次突破,該研究的資深作者、北京清華大學(xué)電氣工程師任天令在采訪中表示,“我們已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了世界上最小的柵極長(zhǎng)度晶體管”。
“在未來,人們幾乎不可能制造小于 0.34 nm 的柵極長(zhǎng)度,”任天令指出,“這可能是摩爾定律的最后一個(gè)節(jié)點(diǎn)。”
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