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    國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)一步完善 ASML再也無法阻止中國(guó)前進(jìn)的腳步

    2022年08月17日 16:54:13   來源:柏銘007

      近日國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈再獲突破,上海傳芯半導(dǎo)體公開了用于EUV光刻機(jī)的曝光成像結(jié)構(gòu)、反射式光掩模版組及投影式光刻機(jī)專利,這對(duì)于國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈來說是又一個(gè)關(guān)鍵的技術(shù)突破。

      光刻機(jī)的生產(chǎn)之所以困難,在于它集中了全球科技行業(yè)的精華,需要德國(guó)、美國(guó)、日本等諸多國(guó)家的配套企業(yè)提供相關(guān)的組件,最終由荷蘭的ASML將之整合成為一臺(tái)光刻機(jī),正是這種高度的配合才能生產(chǎn)出全球最先進(jìn)的光刻機(jī)。

      中國(guó)近幾年一直在努力實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)的自主化,其中上海微電子在光刻機(jī)方面的進(jìn)展較快,不過僅靠上海微電子是無法生產(chǎn)出先進(jìn)的光刻機(jī)的,需要國(guó)內(nèi)諸多產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)共同合作才能最終將之變成現(xiàn)實(shí)。

      此前清華大學(xué)機(jī)械工程系朱煜教授帶隊(duì)的清華大學(xué)研發(fā)團(tuán)隊(duì)就已研發(fā)出光刻機(jī)雙工作臺(tái),由此中國(guó)成為全球第二個(gè)可以生產(chǎn)雙工作臺(tái)的國(guó)家;此外激光頭、鏡頭等廠商也陸續(xù)生產(chǎn)出先進(jìn)的組件,再到如今上海傳芯半導(dǎo)體的突破,可以說國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的產(chǎn)業(yè)鏈正在加速完善。

      中國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈得以迅速完善,在于這20多年打下的制造業(yè)基礎(chǔ),這些基礎(chǔ)讓這些組件的研發(fā)和量產(chǎn)迅速推進(jìn),逐步完善,如此可以預(yù)期再過數(shù)年國(guó)產(chǎn)的先進(jìn)光刻機(jī)終將會(huì)變成現(xiàn)實(shí)。

      光刻機(jī)巨頭ASML曾經(jīng)表示即使給中國(guó)企業(yè)圖紙,中國(guó)企業(yè)也無法生產(chǎn)出先進(jìn)的光刻機(jī),原因就在于光刻機(jī)的諸多組件都由非中國(guó)大陸的企業(yè)生產(chǎn),然而如今中國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈在快速推進(jìn),顯然出乎了它的意料。

      其實(shí)這也是ASML的自大吧,20多年前日本的光刻機(jī)可也是領(lǐng)先于ASML的,占有的市場(chǎng)份額與ASML相差不大,后來先進(jìn)的光刻機(jī)成本越來越昂貴,于是ASML與光刻機(jī)客戶臺(tái)積電、三星、Intel等結(jié)成聯(lián)盟并由這些客戶入股,在利益捆綁之下,這些芯片制造企業(yè)都優(yōu)先采用ASML的光刻機(jī),才造成了如今ASML的一家獨(dú)大。

      這就說明光刻機(jī)的技術(shù)其實(shí)并非由ASML所獨(dú)有,只不過ASML通過客戶捆綁的方式擊敗了日本的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè),最終才變成了ASML的一家獨(dú)大,然而如今日本也有意繞開ASML的光刻機(jī),日本的鎧俠存儲(chǔ)就與日本企業(yè)研發(fā)了先機(jī)的NIL工藝,已在芯片制造行業(yè)走出了一條新路。

      中國(guó)如今也是兩條腿走路,一方面繼續(xù)打通光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈,另一方面則是研發(fā)無需光刻機(jī)的芯片制造工藝,中國(guó)能如此做,在于中國(guó)龐大的市場(chǎng),以及龐大的制造業(yè)基礎(chǔ),無論那一條路打通,中國(guó)的芯片制造產(chǎn)業(yè)都能支撐起一條芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈。

      今年一季度ASML加緊對(duì)中國(guó)出貨光刻機(jī),可能也正是預(yù)感到中國(guó)芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈已取得新的突破,希望趕在中國(guó)量產(chǎn)自己的芯片制造設(shè)備之前再賺一筆,乃至以此壓制中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展,畢竟中國(guó)的成本優(yōu)勢(shì)太強(qiáng)了,就如中國(guó)已量產(chǎn)的芯片價(jià)格低至美國(guó)芯片的四分之一,只要中國(guó)量產(chǎn)的芯片,歐美芯片企業(yè)都只能大舉降價(jià)拋售,近期歐美的芯片都傳出降價(jià)九成的消息就印證了這一點(diǎn)。

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