佳能光刻機(jī)價(jià)格或比ASML EUV設(shè)備便宜更多

　　11月6日消息，佳能計(jì)劃將其新型芯片制造設(shè)備的定價(jià)定在ASML最先進(jìn)的光刻機(jī)成本的一小部分，以期在尖端設(shè)備領(lǐng)域取得進(jìn)展。

　　集微網(wǎng)報(bào)道，佳能CEO御手洗富士夫表示，該公司的新納米壓印技術(shù)將為小型半導(dǎo)體制造商生產(chǎn)先進(jìn)芯片開辟一條道路，目前這種技術(shù)幾乎完全屬于該行業(yè)最大的公司。這款產(chǎn)品的價(jià)格將比ASML的EUV設(shè)備低一位數(shù)，不過最終的定價(jià)決定還沒有做出。

　　據(jù)悉，ASML是極紫外光刻工具的唯一供應(yīng)商，極紫外光刻工具是世界上最先進(jìn)的芯片制造機(jī)器，每臺(tái)價(jià)值數(shù)億美元。EUV設(shè)備是數(shù)十年研究和投資的產(chǎn)物，對(duì)于大規(guī)模生產(chǎn)速度最快、最節(jié)能的芯片至關(guān)重要。

　　只有少數(shù)現(xiàn)金充裕的公司有能力投資于這些工具，這些工具目前正因其在科技供應(yīng)鏈中的關(guān)鍵地位而受到審查。在美國向其盟友施壓，要求其限制技術(shù)流向中國之后，ASML被禁止向中國客戶出口EUV系統(tǒng)。

　　這給佳能上個(gè)月上市的新工具帶來了希望。7月，日本擴(kuò)大了對(duì)芯片制造出口的限制，但沒有明確提到納米壓印光刻技術(shù)。御手洗富士夫稱，佳能可能無法將這些機(jī)器運(yùn)往中國。14納米技術(shù)以外的任何產(chǎn)品都是禁止出口的。

　　據(jù)了解，佳能與大日本印刷和存儲(chǔ)芯片制造商鎧俠合作研究納米壓印工藝已有近十年的時(shí)間。與通過反射光工作的極紫外光刻技術(shù)不同，佳能的技術(shù)將電路圖案直接印在晶圓上，從而制造出據(jù)稱與最先進(jìn)節(jié)點(diǎn)相當(dāng)?shù)膸缀涡螤畹男酒�，盡管速度要慢得多。這臺(tái)新機(jī)器讓芯片制造商可以選擇降低對(duì)代工廠的依賴，同時(shí)也讓臺(tái)積電和三星電子等代工芯片制造商更有可能批量生產(chǎn)芯片。佳能表示，這種機(jī)器所需的功率只有其EUV同類產(chǎn)品的十分之一。

　　御手洗富士夫表示：“我不認(rèn)為納米壓印技術(shù)會(huì)取代EUV，但我相信這將創(chuàng)造新的機(jī)會(huì)和需求，我們已經(jīng)收到了很多客戶的咨詢。”