三星計劃2030年實現(xiàn)無人化全自動芯片工廠

　　三星電子已開始開發(fā)“智能傳感系統(tǒng)”，旨在提高產(chǎn)量并改變半導(dǎo)體工廠的運(yùn)營方式。該系統(tǒng)主要用于實時監(jiān)控和分析生產(chǎn)過程，目前可以自動處理等離子體均勻性。三星最終計劃到2030年使其芯片工廠無需人工操作，實現(xiàn)完全自動化。

　　三星的最終目標(biāo)是到2030年擁有完全無人化的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施。實現(xiàn)這一目標(biāo)需要開發(fā)能夠管理大量數(shù)據(jù)并自動優(yōu)化設(shè)備性能的系統(tǒng)。智能傳感系統(tǒng)是該計劃的重要組成部分，預(yù)計將在使這些智能、全自動晶圓廠成為現(xiàn)實的過程中發(fā)揮至關(guān)重要的作用。三星目前正在向智能傳感器等項目投資數(shù)千萬韓元，并希望獲得長期投資回報。

　　目前正在開發(fā)的智能傳感器旨在測量晶圓上等離子體的均勻性。因為半導(dǎo)體制造中的蝕刻、沉積和清洗等工藝的結(jié)果很大程度上受到等離子體均勻性的影響，因此在這方面的精確測量和管理至關(guān)重要。

　　該智能傳感系統(tǒng)的開發(fā)是團(tuán)隊合作的成果，涉及合作伙伴和學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)的合作。這些新型傳感器的重要特點(diǎn)是它們的尺寸很小巧：可以安裝到現(xiàn)有的晶圓廠中，并且不需要額外的空間，這在潔凈室中非常寶貴。

　　值得注意的是，這些傳感器是在韓國設(shè)計和制造的。三星等韓國芯片制造商傳統(tǒng)上嚴(yán)重依賴外國設(shè)備來實現(xiàn)此類先進(jìn)工藝。開發(fā)自主的智能感知系統(tǒng)標(biāo)志著這一依賴關(guān)系的顯著改變，盡管三星使用的大多數(shù)設(shè)備仍在國外生產(chǎn)。