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    三星研發(fā)「智能傳感器系統(tǒng)」 用于提高半導(dǎo)體良率和產(chǎn)能

    2023年12月26日 11:30:09   來源：DoNews

    　　三星電子正在研發(fā)「智能傳感器系統(tǒng)」，以提高半導(dǎo)體良率和產(chǎn)能。關(guān)鍵在于精確控制生產(chǎn)過程中的等離子體均勻性和密度，該系統(tǒng)可測(cè)量晶圓等離子體均勻性，準(zhǔn)確管理蝕刻、沉積和清洗工藝性能。

    　　此舉有望緩解對(duì)外國傳感器的依賴，并提高產(chǎn)量。開發(fā)的智能傳感器為超小型，不影響現(xiàn)有設(shè)備空間，可在提高空間利用率的同時(shí)提高產(chǎn)能。未來，三星計(jì)劃擴(kuò)大智能傳感器應(yīng)用范圍，開發(fā)可用于各種半導(dǎo)體工藝的 SMART 傳感器和系統(tǒng)。

    　　文章內(nèi)容僅供閱讀，不構(gòu)成投資建議，請(qǐng)謹(jǐn)慎對(duì)待。投資者據(jù)此操作，風(fēng)險(xiǎn)自擔(dān)。

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