ASML 在官網(wǎng)紀(jì)念品商城上架了一款特殊的產(chǎn)品:世界首型 High NA EUV 光刻系統(tǒng) TWINSCAN EXE:5000 的樂高模型套裝。
TWINSCAN EXE:5000 光刻機(jī)是首款采用 0.55NA 數(shù)值孔徑的光刻機(jī),其分辨率達(dá) 8nm,成像對比度較此前的 NXE 系列 0.33NA EUV 系統(tǒng)高 40%,支持 2nm 邏輯節(jié)點圖案化,單價達(dá) 3.5 億歐元(IT之家備注:當(dāng)前約 26.8 億元人民幣)。
該樂高套裝由 ASML 開發(fā)人員 —— 同樣也是樂高愛好者 —— Rick Lenssen 設(shè)計,擁有 851 個部件,寬高深三維 352×99×64 mm,定價 227.95 美元(當(dāng)前約 1653 元人民幣)。
Rick Lenssen 此前曾耗時合計 2.5 年(1.5 年設(shè)計藍(lán)圖、1 年實際組裝)用樂高積木復(fù)現(xiàn)了 ASML 的費爾德霍芬主園區(qū),還推出過多款 ASML 主題的樂高套裝產(chǎn)品。
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