6月10日消息,據(jù)國外媒體報道,5nm工藝量產(chǎn)已兩年的臺積電,正在推進3nm工藝的量產(chǎn)事宜,這一制程工藝在去年下半年已風(fēng)險試產(chǎn),按計劃將在今年下半年大規(guī)模量產(chǎn)。
而除了3nm制程工藝,臺積電也在謀劃更先進的2nm工藝的量產(chǎn)事宜,這一工藝計劃在2025年量產(chǎn)。
外媒的報道顯示,臺積電在近期已宣布,他們將投資340億美元,推動2nm制程工藝的量產(chǎn),他們已經(jīng)獲得了建廠土地的租賃許可。
另外,有外媒在報道中表示,臺積電的高層,正在同相關(guān)方,就建設(shè)2nm制程工藝工廠所需的土地進行談判,超過90%的業(yè)主已經(jīng)同意,預(yù)計最遲在6月份能獲得建廠所需的全部土地。
除了土地,臺積電2nm制程工藝工廠在廠房的建設(shè)方面也需要大量的資金,但花費最多的,預(yù)計會是更高端的極紫外光刻機和其他的先進設(shè)備。
臺積電從第二代的7nm工藝開始采用極紫外光刻機,隨后量產(chǎn)的5nm等先進制程工藝,都需要極紫外光刻機,他們也從阿斯麥采購了大量的極紫外光刻機,而更先進的2nm工藝所需要的將是高數(shù)值孔徑極紫外光刻機。
阿斯麥已經(jīng)推出的TWINSCAN NXE:3400B、TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D極紫外光刻機中,最先進的TWINSCAN NXE:3600D最高也只能支持5nm和3nm工藝的量產(chǎn)。
而從阿斯麥一季度的財報來看,他們在今年一季度交付3臺極紫外光刻機,營收5.94億歐元,平均一臺的售價接近2億歐元。未來推出的支持2nm制程工藝的更先進的極紫外光刻機,售價將會更高。
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